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目标模拟运动支架圆运动轨迹的误差分析被引量：1
《科学技术与工程》2009年第15期4501-4503,共3页孙晶华 
在运动轨迹模拟控制系统中,坐标轴控制是系统中要求最高的位置控制。对确定轨迹中的圆轨迹的位置误差进行分析和计算,并和实际采集到的误差分布曲线图进行了比较,结果表明理论分析和实际结果是一致的,为以后探讨研究误差补偿的方法打下...
关键词：可编程多轴控制器(Programmable Multiaris Coutroller PMAC) 目标模拟运动支架 运动轨迹的误差分析 
基于可编程多轴控制器的红外传感器片上测试系统设计被引量：1
《科学技术与工程》2014年第34期213-218,共6页叶雨欣 焦斌斌 孙灵芳 孔延梅 刘瑞文 
国家高技术研究发展计划(SS2013AA041109)资助
探针测试台是一种传统半导体工艺中间测试设备,用于在硅片划片前测试电子器件性能、良率,并给出其在晶圆上分布的映射图表。目前国内外自动或半自动探针测试台都是针对传统IC电路设计,采用封闭式结构,无法根据传感器多变的特性、复杂的...
关键词：可编程多轴控制器(programmable MULTI-AXIS controller PMAC) 自动探针台 开放式数控系统 
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