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检索条件："关键词=容性耦合等离子体 "
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放电参数对不同频率驱动的容性耦合氩等离子体影响的研究被引量：2
《苏州大学学报（自然科学版）》2011年第3期46-53,共8页徐海朋 张杰 陆文琪 辛煜 
国家自然科学基金(10775103)
研究了不同放电参数(功率、气压、频率)下容性耦合氩等离子体中电子温度以及电子密度的变化规律.电子温度和电子密度的测量由双探针诊断获得,而功率电极自偏压则由示波器测量得到.实验结果表明,不同驱动频率下,电子温度随功率上升明显...
关键词：容性耦合等离子体 双探针诊断 电子温度 电子密度 自偏压 
容性耦合等离子体中电子加热过程及放电参数控制被引量：4
《物理学报》2021年第9期80-98,共19页王丽 温德奇 田崇彪 宋远红 王友年 
国家自然科学基金(批准号:12020101005,11975067);国家留学基金管理委员会(批准号:201906060024)资助的课题。
容性耦合等离子体放电因在工业界有重要的应用价值而受到广泛关注.对于容性耦合等离子体放电的研究主要集中于对等离子体参数的控制,以实现更好的工艺效果,例如高深宽比刻蚀等.而关于等离子体参数的调控主要分为气体、腔室以及源这三个...
关键词：容性耦合等离子体 电子加热机制 电子动力学 模拟方法和实验诊断 
容性耦合CF4/Ar等离子体放电特性研究
《中文科技期刊数据库（文摘版）工程技术》2024年第4期0145-0148,共4页梁英爽 赵程琳 潘建壮 
容性耦合CF4/Ar等离子体被广泛应用于半导体材料的刻蚀工艺中,本文采用流体力学模型,研究了气体比例对容性耦合CF4/Ar等离子体放电特性的影响。结果表明,随着CF4含量的增加,电子和Ar+离子的密度单调递减,而F-离子密度的变化趋势相反。...
关键词：CF4/Ar等离子体 容性耦合等离子体 流体力学模型 
直流偏置对射频容性耦合放电特性的影响
《气体物理》2022年第3期87-92,共6页邓华宇 罗日成 阳冠菲 冯健 刘鹏 闫瑾 钟焱 
直流偏置能较好抑制射频容性耦合等离子体(radio frequency capacitively coupled plasma,RF-CCP)表面充电效应,但仍存在其对RF-CCP放电参量影响规律不明确,电源对参量控制复杂等问题.构建了直流源与射频源的板-板结构RF-CCP仿真模型,...
关键词：容性耦合等离子体 射频 数值模拟 放电特性 
相位角对容性耦合电非对称放电特性的影响被引量：2
《物理学报》2018年第22期351-362,共12页胡艳婷 张钰如 宋远红 王友年 
国家自然科学基金(批准号：11405019,11675036,11335004); 中国博士后科学基金(批准号：2015T80244)资助的课题
电非对称效应作为一种新兴技术,被广泛用于对离子能量和离子通量的独立调控.此外,在改善等离子体的径向均匀性方面,电非对称效应也发挥了重要作用.本文采用二维流体力学模型,并耦合麦克斯韦方程组,系统地研究了容性耦合氢等离子体中当...
关键词：容性耦合等离子体 流体模拟 电非对称效应 径向均匀性 
发射光谱的低温等离子体诊断被引量：1
《东华大学学报（自然科学版）》2018年第3期479-484,共6页吉祖俊 郭颖 赵建钢 
采用发射光谱诊断技术研究功率对氩气和氧气激发态光强的影响,并结合光刻胶的刻蚀速率来论证这种光谱诊断的可行性,并应用该诊断方法研究极板间距及配置对等离子体放电的影响。结果表明:氩离子和氧原子激发态光强随着功率的增加呈线性增...
关键词：发射光谱 容性耦合等离子体 刻蚀速率 
容性耦合等离子体的均匀性研究被引量：7
《真空科学与技术学报》2014年第9期984-990,共7页唐优青 丁可 郭颖 赵建钢 
使用朗缪尔双探针诊断方法,研究放电极板配置和放电参数对13.56 MHz容性耦合等离子体的电子温度、电子密度和电子能量密度分布的影响。其中极板配置包括圆孔极板、极板数量和极板间距,放电参数包括放电功率和放电气压。实验结果表明:极...
关键词：容性耦合等离子体 朗缪尔双探针 等离子体均匀性 圆孔极板 
基于均匀离子密度的容性耦合射频放电等离子体的实验诊断研究被引量：3
《真空科学与技术学报》2019年第9期745-751,共7页朱寒 何湘 王春旺 陈秉岩 陈建平 陈玉东 曾小军 
国家自然科学基金项目(61378037);中央高校基本科研业务费项目(2018B19814)
容性耦合射频(CCRF)放电可用于制备大体积、均匀、低温非热平衡等离子体,已得到了国内外的广泛关注。针对CCRF放电过程中等离子体参量的诊断问题,本文提供了一种基于均匀离子密度的描述CCRF放电的等效回路模型(ECM),并根据等效阻抗原理...
关键词：容性耦合等离子体 等效回路模型 电子密度 电子温度 
阻挡材料对射频容性耦合等离子体放电参量的影响
《真空科学与技术学报》2021年第7期613-618,共6页王学禹 吴勤斌 罗日成 肖宏峰 田迪凯 张宇飞 
为进一步探索射频容性耦合等离子体放电影响因素,本文运用数值仿真技术,构建了容性耦合等离子体的一维发射装置,施加射频源,仿真气体设定为氦气,极板间距恒定75 mm,研究了插入阻挡材料厚度、介电常数对极板间周期平均电子密度、周期平...
关键词：射频源 容性耦合等离子体 阻挡材料 介电常数 
CF4射频容性耦合等离子体对硅橡胶表面双疏改性的研究被引量：8
《功能材料》2009年第1期79-81,共3页高松华 闻立时 周克省 刘洋 雷明凯 
湖南省科技计划资助项目(05JT1034)
利用CF4射频容性耦合等离子体对硅橡胶进行表面双疏改性,用XPS技术分析了处理后硅橡胶表面成分变化,并利用接触角测量研究了表面疏水疏油改性效果。结果表明,CF4射频容性耦合等离子体通过等离子体表面氟化和剥离或刻蚀的相互竞争作用在...
关键词：硅橡胶 容性耦合等离子体 表面改性 XPS 
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