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检索条件："关键词=数值宏模型 "
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面向MEMS系统级仿真的宏模型研究被引量：7
《系统仿真学报》2009年第15期4561-4567,4587,共8页关乐 褚金奎 齐东周 王晓东 王立鼎 
国家自然科学基金(50535030);国家高技术研究发展计划项目(2007AA04Z335)
典型微机电系统由受多能量域约束的功能器件与集成电路信号处理元件构成,具有多物理场耦合的特点。利用宏模型进行快速的系统级仿真分析是求解耦合MEMS静、动态行为的有效方法。对目前建立MEMS器件宏模型的方法做了系统总结,重点介绍了...
关键词：微机电系统 解析宏模型 数值宏模型 非线性宏模型 
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