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集束型半导体装备调度系统架构模型被引量：2
《制造业自动化》2015年第2期103-107,共5页卢睿 
辽宁省高等学校优秀人才支持计划(LJQ2011132);辽宁省教育厅科学研究一般项目(L20144456)
在对集束型半导体装备控制软件(Cluster Tool Controller,CTC)架构及SEMI(Semiconductor Equipment and Materials Institute)标准研究的基础上,提出了基于SEMI标准的CTC调度系统架构模型,包括用户界面层、作业与调度管理层、模块管理...
关键词：半导体制造 集束型装备控制软件 调度系统 模块通信标准 
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