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硅各向异性腐蚀的仿真模型研究
《电子科技》2018年第2期56-60,共5页严一峰 方玉明 
江苏省自然科学基金(BK20131380);南京邮电大学大学生创新训练计划项目(XYB2017057)
为了在硅衬底上加工出多样的微结构,满足微机电系统的发展,硅各向异性腐蚀的仿真模型被大量研究。从衬底模型、腐蚀规则的制定、腐蚀速率、时间步长的角度出发,介绍了这些要素对几何模型和原子模型所包含多种仿真方法的模拟精度和模拟...
关键词：硅 各向异性腐蚀 仿真方法 模拟精度和模拟效率 
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