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检索条件:"关键词=精确控制模型 "
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灰度掩模等级的精确控制研究被引量:1
《光电子.激光》2007年第1期13-15,共3页颜树华 
国家自然科学基金资助项目(50275145)
在基于空间光调制器(SLM)的灰度掩模并行制作方法中,基于曝光曲线的线性近似关系,建立了灰度掩模强度透过率的线性近似模型,给出了灰度掩模等级精度的精确控制策略。利用卤化银全息感光材料进行了相关实验,制作了菲涅耳透镜的2阶、8阶...
关键词:信息光学 二元光学 灰度掩模 精确控制模型 
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