大功率激光窗口ZnSe的制备原理及方法  

The theory and method of CVD ZnSe for CO2 laser windows

作　　者：鲁泥藕[1] 余怀之[1] 霍承松[1] 汪飞琴[1] 石红春[1] 

机构地区：[1]北京有色金属研究总院,北京国晶辉红外光学科技有限公司,北京,100088 北京有色金属研究总院,北京国晶辉红外光学科技有限公司,北京,100088 北京有色金属研究总院,北京国晶辉红外光学科技有限公司,北京,100088 北京有色金属研究总院,北京国晶辉红外光学科技有限公司,北京,100088 北京有色金属研究总院,北京国晶辉红外光学科技有限公司,北京,100088

出　　处：《功能材料》2004年第z1期246-248,共3页Journal of Functional Materials

摘　　要：比较了四种适用于作CO2激光器窗口的材料,Ge、KCl、GaAs和ZnSe,指出ZnSe是大功率激光器最理想的窗口材料,并列举了3种ZnSe的制备原理及方法,阐述了CVD方法制备多晶ZnSe的过程.

关 键 词：窗口材料 透过率 ZNSE 化学气相沉积 

分 类 号：TN304.2+5[电子电信—物理电子学] Q484.1[生物学—生理学]