余怀之

作品数：15被引量：74H指数：6
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供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
发文主题：ZNS硫化锌红外光学材料化学气相沉积CVD更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术理学生物学更多>>
发文期刊：《应用光学》《功能材料》《无机材料学报》《红外与激光工程》更多>>
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ZnS上HfON保护膜及增透膜系的制备和性能研究被引量：2
《激光与红外》2009年第5期531-533,共3页刘伟 张树玉 闫兰琴 袁果 刘嘉禾 黎建明 杨海 苏小平 余怀之 
用氮氧化铪薄膜作为CVDZnS衬底的保护膜、由YbF3和ZnS组成的增透膜系分别在CVDZnS的两面制备了保护膜和增透膜,研究了镀膜前后CVDZnS在8-12μm波段的光学性能,单面镀制增透膜之后CVDZnS在此波段的平均透过率由未镀膜前的74%提高到了82%...
关键词：硫化锌 氮氧化铪保护膜 增透膜 硬度 
ZnSe基底7～14μm波段宽带增透膜被引量：5
《激光与红外》2009年第2期210-212,共3页闫兰琴 张树玉 黎建明 杨海 苏小平 余怀之 刘嘉禾 刘伟 
简要叙述了7～14μm波段红外增透膜的膜料选择以及硒化锌基底上高性能红外增透膜的设计和工艺研究。介绍了离子辅助沉积技术沉积该膜的的工艺过程。给出了用该方法制备的7—14μm波段宽带减反射膜的实测光谱曲线，其峰值透过率高达98％...
关键词：ZnSe基底 红外宽带增透膜 优化 离子辅助沉积技术 
大口径多光谱ZnS头罩的研制被引量：9
《红外与激光工程》2008年第4期719-722,共4页霍承松 杨海 付利刚 石红春 鲁泥藕 赵永田 魏乃光 孙加滢 余怀之 苏小平 
多光谱ZnS是一种综合性能优异的红外光学材料,在长波红外及多波段红外探测成像系统中被广泛应用。化学气相沉积和热等静压后处理是制备多光谱ZnS材料的关键技术。介绍了化学气相沉积工艺和热等静压处理工艺制备多光谱ZnS的工艺原理及沉...
关键词：多光谱ZnS 大口径 头罩 
ZnS上金刚石膜的过渡层设计和附着力研究被引量：6
《红外与激光工程》2008年第2期347-351,共5页郝鹏 张树玉 黎建明 杨海 苏小平 余怀之 刘伟 贺琪 
国防科工委“十一五”资助项目
CVD ZnS是中长波前视红外窗口和整流罩的合适材料,文中从折射率、热应力、透射波段和附着力等方面考虑,由实验设计出HfO2/非晶膜双层结构作为ZnS与金刚石保护膜间的过渡层,采用射频反应磁控溅射技术在ZnS表面制备过渡膜层,并采用划痕法...
关键词：过渡层 ZNS 金刚石膜 附着力 
红外用CVD ZnS多晶材料的研制被引量：13
《应用光学》2008年第1期57-61,共5页杨海 霍承松 余怀之 付利刚 石红春 鲁泥藕 黄万才 孙加滢 郑冉 苏小平 
论述了制备红外用CVD ZnS多晶材料的化学气相沉积工艺和热等静压处理工艺。针对CVD ZnS多晶材料具备优良的光学和力学性能,采用化学气相沉积工艺和热等静压处理技术成功研制出大尺寸多晶材料,其最大尺寸达到250 mm×15 mm。测试了CVD Zn...
关键词：CVD ZNS 化学气相沉积 热等静压处理 
红外光学材料硫化锌衬底上沉积金刚石膜的研究被引量：3
《功能材料》2005年第9期1398-1400,共3页高旭辉 吕反修 魏俊俊 李成明 陈广超 余怀之 
采用微波等离子体化学气相沉积法,在预镀陶瓷过渡层的硫化锌衬底上沉积金刚石膜。在以前的实验中,我们发现在陶瓷过渡层上沉积金刚石膜极其困难,但采用金刚石诱导形核方法后,我们已经在过渡层/硫化锌试样表面获得了很小面积(约1mm宽的...
关键词：硫化锌(ZnS) 金刚石膜 陶瓷过渡层 诱导形核 微波等离子体CVD 
在预涂陶瓷过渡层的多谱段ZnS衬底上沉积金刚石膜的探索研究被引量：11
《人工晶体学报》2004年第1期105-108,共4页吕反修 高旭辉 郭会斌 陈广超 李成明 唐伟忠 佟玉梅 余怀之 程宏范 杨海 
本文采用真空电子束蒸镀技术在多谱段ZnS衬底上沉积了适合金刚石膜沉积的致密陶瓷过渡层,并利用微波等离子体CVD金刚石膜低温沉积技术进行了金刚石膜沉积研究。发现在陶瓷过渡层上的金刚石形核极其困难,其原因可能是陶瓷涂层在沉积过程...
关键词：硫化锌 金刚石膜涂层 陶瓷 过渡层 诱导形核 微波等离子体 CVD ZNS 衬底 衬底材料 
大功率激光窗口ZnSe的制备原理及方法被引量：6
《功能材料》2004年第z1期246-248,共3页鲁泥藕 余怀之 霍承松 汪飞琴 石红春 
比较了四种适用于作CO2激光器窗口的材料,Ge、KCl、GaAs和ZnSe,指出ZnSe是大功率激光器最理想的窗口材料,并列举了3种ZnSe的制备原理及方法,阐述了CVD方法制备多晶ZnSe的过程.
关键词：窗口材料 透过率 ZNSE 化学气相沉积 
热等静压(HIP)对CVDZnS光学性能的影响被引量：3
《稀有金属》2003年第6期706-708,共3页付利刚 苏小平 余怀之 霍承松 宋睿丰 石红春 鲁泥藕 
国家十五项目资助 (MKPT 0 1 13 7)
对化学气相沉积 (CVD)ZnS经热等静压 (HIP)处理前后在光学透过率等方面的改变进行了比较分析。针对温度、原生样品厚度等因素对样品性能的影响做了详细阐述。实验表明 ,热等静压对原生CVDZnS光学性能有促进作用 ,随处理温度的升高 ,透...
关键词：化学气相沉积ZnS(CVD) 热等静压(HIP) 透过率 
CVDZnS热等静压(HIP)前后光学性能和显微结构的研究被引量：5
《无机材料学报》2002年第4期872-876,共5页宋睿丰 余怀之 霍承松 
军工配套项目
采用红外、紫外光谱仪对热等静压（HIP）处理前后CVDZnS的光学透过率进行了测量,采用分析电子显微镜、金相显微镜和X射线衍射对原生CVDZnS和经热等静压（HIP）处理的CVDZnS的显微组织和晶体结构进行了分析.根据热等静压（HIP）处理前后C...
关键词：CVDZnS 热等静压 光学性能 显微结构 光学透过率 X射线衍射 硫化锌 红外光学材料 
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