闫兰琴

作品数：6被引量：12H指数：3
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供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
发文主题：光电增透膜氧分压射频磁控反应溅射PECVD更多>>
发文领域：一般工业技术理学电子电信化学工程更多>>
发文期刊：《人工晶体学报》《激光与红外》《功能材料与器件学报》《真空科学与技术学报》更多>>
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氧分压对掺钼氧化铟透明导电薄膜光电性能的影响被引量：3
《功能材料与器件学报》2011年第1期46-50,共5页袁果 黎建明 张树玉 刘伟 闫兰琴 
采用射频磁控反应溅射法在k9玻璃衬底上制备了In2O3:Mo(IMO)透明导电薄膜,分析了不同氧分压条件下IMO薄膜的晶体结构、化学成分及光电性能。结果表明:不同氧分压下制备的IMO薄膜具有不同晶粒的取向性;随着氧分压的增加,薄膜的载流子浓...
关键词：掺钼氧化铟薄膜 氧分压 电学性能 光学性能 
沉积温度对IMO透明导电薄膜光电性能的影响被引量：3
《真空科学与技术学报》2010年第6期676-679,共4页袁果 黎建明 张树玉 刘伟 闫兰琴 
采用射频磁控反应溅射法在K9玻璃衬底上制备了掺钼氧化铟(Mo:In2O3,IMO)透明导电薄膜,研究了不同沉积温度条件下IMO薄膜的晶体结构、形貌及光电性能。结果表明:不同沉积温度下IMO薄膜均具有(222)择优取向。随着沉积温度的升高,IMO薄膜...
关键词：掺钼氧化铟薄膜 射频磁控反应溅射 电学性能 光学性能 
ZnS上HfON保护膜及增透膜系的制备和性能研究被引量：2
《激光与红外》2009年第5期531-533,共3页刘伟 张树玉 闫兰琴 袁果 刘嘉禾 黎建明 杨海 苏小平 余怀之 
用氮氧化铪薄膜作为CVDZnS衬底的保护膜、由YbF3和ZnS组成的增透膜系分别在CVDZnS的两面制备了保护膜和增透膜,研究了镀膜前后CVDZnS在8-12μm波段的光学性能,单面镀制增透膜之后CVDZnS在此波段的平均透过率由未镀膜前的74%提高到了82%...
关键词：硫化锌 氮氧化铪保护膜 增透膜 硬度 
ZnSe基底7～14μm波段宽带增透膜被引量：5
《激光与红外》2009年第2期210-212,共3页闫兰琴 张树玉 黎建明 杨海 苏小平 余怀之 刘嘉禾 刘伟 
简要叙述了7～14μm波段红外增透膜的膜料选择以及硒化锌基底上高性能红外增透膜的设计和工艺研究。介绍了离子辅助沉积技术沉积该膜的的工艺过程。给出了用该方法制备的7—14μm波段宽带减反射膜的实测光谱曲线，其峰值透过率高达98％...
关键词：ZnSe基底 红外宽带增透膜 优化 离子辅助沉积技术 
氧分压对HfO_xN_y薄膜结构和力学性能的影响
《人工晶体学报》2009年第1期16-20,共5页刘伟 苏小平 张树玉 闫兰琴 王宏斌 刘嘉禾 
采用射频磁控反应溅射法在不同氧分压条件下制备了氮氧化铪薄膜,薄膜沉积过程在氧气、氮气和氩气的混合气氛中进行,所用衬底为多光谱硫化锌材料。用X射线衍射、扫描电子显微镜、纳米硬度计等分别研究了不同氧分压条件下HfOxNy薄膜的晶...
关键词：氮氧化铪薄膜 射频磁控反应溅射 晶体结构 显微结构 力学性能 
纳米硅层状薄膜及其p-i-n太阳能电池的研制被引量：1
《Journal of Semiconductors》2007年第z1期333-336,共4页金飞 张维佳 贾士亮 丁照崇 闫兰琴 王天民 李国华 
通过等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法分别制备了本征、掺磷和掺硼的氢化纳米硅薄膜(nc-Si:H),并制备出纳米硅复合层状薄膜.对薄膜样品进行了喇曼(Raman)散射谱,X射线衍射等分析测试.结果表明:掺杂元素对纳米硅薄膜的晶态比和晶粒大...
关键词：PECVD 太阳能电池 半导体薄膜 
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