汪飞琴

作品数：3被引量：8H指数：2
导出分析报告
供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
发文主题：化学气相沉积流型均匀性稳定性大功率更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术生物学化学工程更多>>
发文期刊：《稀有金属》《功能材料》更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-3
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
CVD法制备ZnS反应气体流动状态模拟被引量：2
《稀有金属》2005年第6期819-822,共4页汪飞琴 苏小平 霍承松 
介绍了采用化学气相沉积(CVD)技术制备ZnS的原理及特点,提出用气体流形模拟研究目前生长过程中沉积厚度均匀性、长时间沉积稳定性以及重复性等问题。选择了合适的描述沉积室内气体运动的流体力学和表面反应动力学模型,利用流体力学的偏...
关键词：化学气相沉积 ZNS 流体动力学模拟 流动场 
CVD工艺中气体流型的研究
《功能材料》2004年第z1期2792-2794,1799,共4页汪飞琴 苏小平 鲁泥藕 
化学气相沉积(CVD)法可制备高纯度、近似元件形状、大面积的块体材料,与制备薄膜的CVD过程相比,该过程存在长时间沉积稳定性、厚度均匀性及光学质量均匀性等问题.本文采用简化装置对CVD工艺过程进行物理模拟,探讨不同工艺参数下沉积室...
关键词：化学气相沉积 体材料 稳定性 均匀性 流型 
大功率激光窗口ZnSe的制备原理及方法被引量：6
《功能材料》2004年第z1期246-248,共3页鲁泥藕 余怀之 霍承松 汪飞琴 石红春 
比较了四种适用于作CO2激光器窗口的材料,Ge、KCl、GaAs和ZnSe,指出ZnSe是大功率激光器最理想的窗口材料,并列举了3种ZnSe的制备原理及方法,阐述了CVD方法制备多晶ZnSe的过程.
关键词：窗口材料 透过率 ZNSE 化学气相沉积 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部