付利刚

作品数：9被引量：31H指数：5
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供职机构：北京科技大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题：化学气相沉积ZNSCVD硫化锌ZNSE更多>>
发文领域：电子电信理学化学工程更多>>
发文期刊：《应用光学》《红外与激光工程》《稀有金属》《人工晶体学报》更多>>
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CVDZnS微观缺陷分析被引量：5
《红外与激光工程》2012年第1期139-143,共5页付利刚 霍承松 张福昌 魏乃光 王学武 吕反修 
973计划资助
微缺陷对化学气相沉积硫化锌(CVDZnS)的光学及力学性能有显著影响。对沉积工艺进行了介绍,通过SEM、TEM及金相对CVDZnS中的微缺陷如异常大晶粒、柱状晶、微裂纹、微孔及杂质的结构形态进行了观测,并对形成原因进行了分析:高的沉积生长...
关键词：CVDZnS 微缺陷 沉积工艺 
工艺参数对化学气相沉积硫化锌起拱的影响被引量：2
《人工晶体学报》2010年第6期1596-1600,共5页付利刚 霍承松 张福昌 魏乃光 王学武 吕反修 
军工配套项目
本文系统研究了沉积温度、压力、Zn/H2S、以及衬底表面粗糙度对起拱的影响。实验表明,适当的提高沉积温度(650℃)和降低沉积压力(1.5×104Pa)有利于抑制沉积起拱;当Zn/H2S<1时起拱减弱,但透过率下降,可在沉积的初期采用低的Zn/H2S抑制起...
关键词：起拱 沉积温度 沉积压力 衬底表面粗糙度 
化学气相沉积硫化锌中六方相形成机制及抑制方法分析被引量：5
《红外与激光工程》2010年第6期1100-1104,共5页付利刚 霍承松 张福昌 魏乃光 王学武 吕反修 
军工配套项目
六方相ZnS由于光学上的各相异性而在不同晶相上具有不同的折射指数。立方相化学气相沉积硫化锌(CVDZnS)中的六方杂相加大了对入射光线的散射,严重影响材料本身的光学性能。通过不同实验条件下的对比,对促成立方相形成的机制进行了探讨...
关键词：形成机制 抑制方法 六方相ZnS 立方相ZnS 
原生CVD ZnS 6.2μm处吸收峰的消除及机理分析被引量：2
《人工晶体学报》2010年第2期440-443,448,共5页付利刚 张福昌 魏乃光 赵永田 王学武 吕反修 
军工配套项目
原生CVD ZnS的特征之一是由于内部与S空位相关的Zn-H络合物的存在而在6.2μm处形成吸收峰。相对较低的沉积温度和较高的沉积压力以及Zn/H2S是产生这一问题的主要原因。通过改进实验参数(沉积温度、沉积压力、Zn/H2S),能够制备出与经过HI...
关键词：原生CVD ZNS Zn-H络合物 吸收峰 
大口径多光谱ZnS头罩的研制被引量：9
《红外与激光工程》2008年第4期719-722,共4页霍承松 杨海 付利刚 石红春 鲁泥藕 赵永田 魏乃光 孙加滢 余怀之 苏小平 
多光谱ZnS是一种综合性能优异的红外光学材料,在长波红外及多波段红外探测成像系统中被广泛应用。化学气相沉积和热等静压后处理是制备多光谱ZnS材料的关键技术。介绍了化学气相沉积工艺和热等静压处理工艺制备多光谱ZnS的工艺原理及沉...
关键词：多光谱ZnS 大口径 头罩 
红外用CVD ZnS多晶材料的研制被引量：13
《应用光学》2008年第1期57-61,共5页杨海 霍承松 余怀之 付利刚 石红春 鲁泥藕 黄万才 孙加滢 郑冉 苏小平 
论述了制备红外用CVD ZnS多晶材料的化学气相沉积工艺和热等静压处理工艺。针对CVD ZnS多晶材料具备优良的光学和力学性能,采用化学气相沉积工艺和热等静压处理技术成功研制出大尺寸多晶材料,其最大尺寸达到250 mm×15 mm。测试了CVD Zn...
关键词：CVD ZNS 化学气相沉积 热等静压处理 
CVD复制技术制备ZnS头罩
《红外与激光工程》2007年第z2期133-135,共3页鲁泥藕 霍承松 付利刚 石红春 孙加滢 杨海 
为减轻生产、加工难度和减少材料浪费,提出了CVD复制技术制备ZnS头罩的方法。着重阐述了衬底和CVD过程对复制ZnS头罩的影响,并列举了复制ZnS头罩时衬底材料的要求。
关键词：CVD复制 ZnS头罩 衬底 过程 
原生CVDZnSe、CVDZnS晶体内Zn-H络合物含量不同的机理分析被引量：6
《红外与激光工程》2005年第1期31-33,共3页付利刚 霍承松 鲁泥藕 
化学气相沉积ZnSe与ZnS晶体结构及物理性能近似,但原生ZnS在6.2μm处存在由Zn-H络合物引起的明显的吸收峰,其中的H来源于未分解的含H反应气体,而原生ZnSe则无此现象。比较分析它们的沉积条件(温度、压力)以及反应气性质后认为:ZnSe相对...
关键词：化学气相沉积 ZNSE ZNS Zn-H络合物 
热等静压(HIP)对CVDZnS光学性能的影响被引量：3
《稀有金属》2003年第6期706-708,共3页付利刚 苏小平 余怀之 霍承松 宋睿丰 石红春 鲁泥藕 
国家十五项目资助 (MKPT 0 1 13 7)
对化学气相沉积 (CVD)ZnS经热等静压 (HIP)处理前后在光学透过率等方面的改变进行了比较分析。针对温度、原生样品厚度等因素对样品性能的影响做了详细阐述。实验表明 ,热等静压对原生CVDZnS光学性能有促进作用 ,随处理温度的升高 ,透...
关键词：化学气相沉积ZnS(CVD) 热等静压(HIP) 透过率 
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