张福昌

作品数：4被引量：9H指数：2
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发文主题：化学气相沉积硫化锌ZNS抑制方法微缺陷更多>>
发文领域：电子电信理学更多>>
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CVDZnS微观缺陷分析被引量：5
《红外与激光工程》2012年第1期139-143,共5页付利刚 霍承松 张福昌 魏乃光 王学武 吕反修 
973计划资助
微缺陷对化学气相沉积硫化锌(CVDZnS)的光学及力学性能有显著影响。对沉积工艺进行了介绍,通过SEM、TEM及金相对CVDZnS中的微缺陷如异常大晶粒、柱状晶、微裂纹、微孔及杂质的结构形态进行了观测,并对形成原因进行了分析:高的沉积生长...
关键词：CVDZnS 微缺陷 沉积工艺 
工艺参数对化学气相沉积硫化锌起拱的影响被引量：2
《人工晶体学报》2010年第6期1596-1600,共5页付利刚 霍承松 张福昌 魏乃光 王学武 吕反修 
军工配套项目
本文系统研究了沉积温度、压力、Zn/H2S、以及衬底表面粗糙度对起拱的影响。实验表明,适当的提高沉积温度(650℃)和降低沉积压力(1.5×104Pa)有利于抑制沉积起拱;当Zn/H2S<1时起拱减弱,但透过率下降,可在沉积的初期采用低的Zn/H2S抑制起...
关键词：起拱 沉积温度 沉积压力 衬底表面粗糙度 
化学气相沉积硫化锌中六方相形成机制及抑制方法分析被引量：5
《红外与激光工程》2010年第6期1100-1104,共5页付利刚 霍承松 张福昌 魏乃光 王学武 吕反修 
军工配套项目
六方相ZnS由于光学上的各相异性而在不同晶相上具有不同的折射指数。立方相化学气相沉积硫化锌(CVDZnS)中的六方杂相加大了对入射光线的散射,严重影响材料本身的光学性能。通过不同实验条件下的对比,对促成立方相形成的机制进行了探讨...
关键词：形成机制 抑制方法 六方相ZnS 立方相ZnS 
原生CVD ZnS 6.2μm处吸收峰的消除及机理分析被引量：2
《人工晶体学报》2010年第2期440-443,448,共5页付利刚 张福昌 魏乃光 赵永田 王学武 吕反修 
军工配套项目
原生CVD ZnS的特征之一是由于内部与S空位相关的Zn-H络合物的存在而在6.2μm处形成吸收峰。相对较低的沉积温度和较高的沉积压力以及Zn/H2S是产生这一问题的主要原因。通过改进实验参数(沉积温度、沉积压力、Zn/H2S),能够制备出与经过HI...
关键词：原生CVD ZNS Zn-H络合物 吸收峰 
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