工艺参数对化学气相沉积硫化锌起拱的影响  

Effect of Technical Parameters on Bowing of CVDZnS

作　　者：付利刚[1,2] 霍承松[2] 张福昌[2] 魏乃光[2] 王学武[2] 吕反修[1] 

机构地区：[1]北京科技大学材料科学与工程学院,北京100083 [2]北京有色金属研究总院北京国晶辉红外光学科技有限公司,北京100088

出　　处：《人工晶体学报》2010年第6期1596-1600,共5页Journal of Synthetic Crystals

基　　金：军工配套项目

摘　　要：本文系统研究了沉积温度、压力、Zn/H2S、以及衬底表面粗糙度对起拱的影响。实验表明,适当的提高沉积温度(650℃)和降低沉积压力(1.5×104Pa)有利于抑制沉积起拱;当Zn/H2S<1时起拱减弱,但透过率下降,可在沉积的初期采用低的Zn/H2S抑制起拱;由于表面阴影和钉扎效应,相对粗糙的衬底表面有更好的抑制起拱效果。In this article,effect of deposition temperature,deposition pressure,Zn/H2S ratio and surface roughness of substrate on bowing is discussed.Experimental results show that an appropriate increasing of deposition temperature（650 ℃） and decreasing of the deposition pressure（1.5×104 Pa） can suppress bowing;when Zn/H2S 1 bowing is reduced,but the transmission is dropped;low Zn/H2S ratio can be used in the initial deposition to inhibit bowing;Due to surface shadow and pinning effect,a relatively rough surface of the substrate inhibits bowing better.

关 键 词：起拱 沉积温度 沉积压力 衬底表面粗糙度 

分 类 号：O77[理学—晶体学]