在钛酸锶钡体材上溅射厚铜膜工艺  

作　　者：张晔[1] 解启林[1] 朱启政[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第38研究所,安徽合肥230031

出　　处：《科技资讯》2007年第22期16-17,共2页Science & Technology Information

摘　　要：本文采用磁控溅射的方法在钛酸锶钡材料上涂覆金属铜膜。文章详细论述了溅射金属铜膜的工艺参数,并就这些参数对所镀膜层表面质量、附着性能和膜均匀性的影响进行了分析,指出了获得优良的厚铜膜层的实现途径和方法。

关 键 词：钛酸锶钡 磁控溅射 厚铜膜 

分 类 号：TQ07[化学工程]