张晔

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在钛酸锶钡体材上溅射厚铜膜工艺
《科技资讯》2007年第22期16-17,共2页张晔 解启林 朱启政 
本文采用磁控溅射的方法在钛酸锶钡材料上涂覆金属铜膜。文章详细论述了溅射金属铜膜的工艺参数,并就这些参数对所镀膜层表面质量、附着性能和膜均匀性的影响进行了分析,指出了获得优良的厚铜膜层的实现途径和方法。
关键词：钛酸锶钡 磁控溅射 厚铜膜 
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