MEMS技术的发展与应用  

作　　者：牛君[1] 刘云桥[1] 

机构地区：[1]石家庄职业技术学院,050081

出　　处：《科技资讯》2007年第23期1-2,共2页Science & Technology Information

摘　　要：MEMS是微机电系统的简称,是多种学科交叉融合的前沿高技术,是未来的主导产业之一,将对21世纪人类的科学技术、生产方式和生活方式产生深远的影响。本文简要介绍了MEMS的基本概念、产生发展过程、技术特点、制造工艺、以及主要应用。

关 键 词：MEMS 微机电系统 加工工艺. 

分 类 号：TN6[电子电信—电路与系统]