牛君

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MEMS技术的发展与应用被引量：9
《科技资讯》2007年第23期1-2,共2页牛君 刘云桥 
MEMS是微机电系统的简称,是多种学科交叉融合的前沿高技术,是未来的主导产业之一,将对21世纪人类的科学技术、生产方式和生活方式产生深远的影响。本文简要介绍了MEMS的基本概念、产生发展过程、技术特点、制造工艺、以及主要应用。
关键词：MEMS 微机电系统 加工工艺. 
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