MOCVD制备AlGaN基多波段布拉格反射镜  

AlGaN-Based Multi-Type Distributed Bragg Reflectors Grown by MOCVD

作　　者：刘斌[1] 张荣[1] 谢自力[1] 姬小利[1] 李亮[1] 周建军[1] 江若琏[1] 韩平[1] 郑有炓[1] 郑建国[2] 龚海梅[3] 

机构地区：[1]南京大学物理系,江苏省光电信息功能材料重点实验室,南京210093 [2]美国西北大学材料工程系,美国 [3]中国科学院上海技术物理研究所,上海200083

出　　处：《Journal of Semiconductors》2007年第z1期492-495,共4页半导体学报（英文版）

基　　金：国家重点基础研究发展规划(批准号:2006CB6049),国家自然科学基金(批准号:6039072,60476030,60421003,60676057),教育部重大项目(批准号:10416),高等学校博士学科点专项科研基金(批准号:20050284004),江苏省自然科学基金(批准号:BK2005210,BK2006126),江苏省高等学校研究生创新基金资助项目

摘　　要：利用金属有机物化学气相淀积系统(MOCVD)制备了AlGaN基多波段布拉格反射镜.多个布拉格反射镜的工作波长覆盖从蓝绿光至紫外范围,分别由多周期的双层结构GaN/AlN,Al0.3Ga0.7N/AlN,Al0.5Ga0.5N/AlN组成.这些多周期光学结构都生长在GaN支撑层上.AFM研究发现,这些布拉格反射镜具有平整光滑的表面,其粗糙度小于lnm;X射线衍射谱和截面透射电镜图片表明它们具有完整的周期重复性和清晰的界面.利用可见-紫外光谱仪研究这些布拉格反射镜的反射谱,发现反射率和半峰宽不仅与周期数有关也与两种材料的折射率系数差有关.

关 键 词：金属有机物化学气相淀积 布拉格反射镜 反射率 

分 类 号：TN304.2[电子电信—物理电子学]