微波功率器件的滤波器测试电路  

A Test Circuit with Microstrip Filter for Microwave Power Device

作　　者：罗卫军[1,2] 陈晓娟[2] 刘果果[2] 刘新宇[2] 王晓燕[1] 方测宝[1] 郭伦春[1] 王晓亮[1] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所,北京100083 [2]中国科学院微电子研究所,北京100029

出　　处：《Journal of Semiconductors》2007年第z1期58-61,共4页半导体学报（英文版）

摘　　要：在微波电路原理和半导体器件物理的基础上,设计和模拟了三种用于微波功率器件的测试电路,并且设计了与之配套的测试夹具.采用矢量网络分析仪对该测试电路和夹具,在3～8GHz范围内进行了小信号测试.模拟和测试结果表明,采用阶梯阻抗滤波器偏置网络的测试电路性能较好,比采用扇形线偏置网络的测试电路具有更宽的带宽.该滤波器偏置电路能够用来在整个C波段,即在4～8GHz内对微波功率器件进行测试.但是,微带叉指耦合电容没有起到取代贴片隔直电容的目的,原因是该结构对参数精度要求高,而PCB制作工艺无法满足这个要求.

关 键 词：滤波器 扇形线 测试电路 阶梯阻抗 叉指耦合电容 

分 类 号：TN4[电子电信—微电子学与固体电子学]