检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
出 处:《华东科技》1997年第3期45-47,共3页east china science & technology
摘 要:JT-500型直流、射频磁控溅射设备 直流、射频技术是在80年代美国、西欧、日本等少数国家研制出来,由于属尖端技术,对我国进行禁运设备。我所经过二、三年时间进行研制并生产出样机。样机提供给上海光机所使用,使用情况良好,在1992年还用该设备试制成的光磁盘获上海市科技成果二等奖。
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