二十一世纪最具代表性技术──微机械  

出　　处：《机械工程师》2001年第1期19-19,共1页Mechanical Engineer

关 键 词：微机械 微型电子机械系统 MEMS 纳米机械 微细加工 微装配 微测量 

分 类 号：TH-39[机械工程]