GaAsHEMT和MMIC通孔的RIE  

作　　者：甘德昌 

出　　处：《等离子体应用技术快报》1994年第9期8-8,共1页

关 键 词：反应性离子蚀刻 砷化镓 MMIC HEMT 通孔 

分 类 号：TN405.983[电子电信—微电子学与固体电子学] TN304.23