振子框架式微机械陀螺设计优化  

Optimum Design of Combgimbal Micromachined Gyroscope

作　　者：余才佳[1] 霍鹏飞[1] 马炳和[1] 苑伟政[1] 姜澄宇[1] 

机构地区：[1]西北工业大学,陕西西安710072

出　　处：《机械与电子》2005年第3期10-13,共4页Machinery & Electronics

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50205022;50375125);"八六三"MEMS重大专项基金资助项目(2003AA404017)

摘　　要：采用多端口组件网络方法对振子框架式微机械陀螺(CGMG)进行设计,分析了主要结构尺寸对其固有频率的影响。根据陀螺驱动模态频率和检测模态的频率匹配,优化了陀螺的结构尺寸。结果表明,该方法可以实现MEMS整体行为的快速仿真,并能分析局部尺寸参数对系统性能的影响。A combgimbal micromachined gyroscope is designed based on multiportelement network.The effect of primary structural dimensions on natural frequency of the gyroscope is studied.According to matching of driving mode frequency and detection mode frequency,the structure dimensions are optimized.With this approach,the system behavior can be rapidly analyzed and influence of its parameters on system performance can be evaluated.Simulation of modal frequency agrees to the result of FEM method within 2%.

关 键 词：微机电系统 微机械陀螺 多端口组件网络 硬件描述语言 

分 类 号：TH702[机械工程—仪器科学与技术] TH122[机械工程—精密仪器及机械]