氧化锌压电薄膜传感器设计理论研究  

Theoretical Studyon Design of Zno Piezoelectric Thin Film Sensors

作　　者：陈晓明[1] 金仲和[1] 邹英寅[1] 

机构地区：[1]浙江大学信息与电子工程系

出　　处：《压电与声光》1994年第2期37-41,共5页Piezoelectrics & Acoustooptics

摘　　要：利用压电薄膜和表面微机械技术可实现新型的氧化锌簿膜器件。本文分析了氧化锌薄膜表面微机械器件中氧化锌的压电效应，微机械结构的应力分布，以及压电感应电荷与器件尺寸的关系。这些结果可为器件的设计提供理论依据。A new type of zine oxide(ZnO)thin film devices can be realized utilizing piezoelectric and surface micromachine technology. In this paper,theoretical analysis of ZnO thin film surface micromachine devices is presented,The piezoelectric effects of ZnO,the stress distributions of micromachine structure.and the relationship between piezoelectric charge and deviee size are given. The results may be useful for device design.

关 键 词：压电薄膜 微机械 传感器 氧化锌 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]