邹英寅

作品数：17被引量：40H指数：4
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发文主题：压电薄膜电输运砷化镓传感器氧化锌更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术理学机械工程更多>>
发文期刊：《微波学报》《光学学报》《电子学报》《光子学报》更多>>
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基于透明铁电陶瓷的高速可变光衰减器被引量：3
《压电与声光》2006年第1期21-22,26,共3页陈捷 曹永良 章献民 陈抗生 邹英寅 
浙江省科技计划重点项目基金资助项目(No.2004C21G2010007)
透明铁电陶瓷具有很高的电光效应和快速的响应时间,但其存在回滞效应且受温度影响大,存在稳定性问题。该文采用后反馈闭环控制技术,有效地克服了这一缺点,制成了高性能的高速可变光衰减器模块。实验结果表明该器件模块的响应时间约10μs...
关键词：可变光衰减器 透明铁电陶瓷 闭环控制 
可变可转单波片偏振控制器研究被引量：6
《光子学报》2006年第1期114-117,共4页李伟文 金晓峰 章献民 陈抗生 邹英寅 
浙江省科技计划重点项目(No.2004C21G2010007)资助
基于PLZT波片的相对相位延迟量可变性和其折射率椭球主光轴的可转性,提出后反馈单个PLZT可变可转波片偏振控制器.采用模拟退火算法进行扰动寻优,仿真结果显示这种控制器是有效的:能将任意输入偏振态转换为稳定的线偏振光而其光强达到总...
关键词：光纤通信 偏振控制器 电光效应 PLZT 可变可转波片 
模拟退火算法在无端偏振控制器中的应用被引量：9
《光子学报》2005年第6期820-824,共5页李伟文 章献民 陈抗生 邹英寅 
浙江省科技计划重点项目(No.2004C21G2010007)资助
构造了由四个相移范围在0～2π的电光晶体波片组成的偏振控制器,利用模拟退火法作为其反馈控制算法.仿真计算表明,该偏振控制器是无端的,在较优的控制参量下,其输出的偏振态是稳定的,光强波动小于1%.对于四波片偏振控制器,模拟退火算法...
关键词：光通信 无端偏振控制器 模拟退火算法 控制参量 偏振态 
基于模拟退火算法的偏振控制器波片相移特性研究被引量：13
《光学学报》2005年第4期449-453,共5页李伟文 章献民 陈抗生 邹英寅 
浙江省科技计划重点项目(2004C21G2010007)资助课题。
按晶体波片的快轴与水平方向成0°、45°、0°、45°顺序排列构造四波片偏振控制器.固定各波片的快慢轴,利用模拟退火算法进行反馈控制,通过改变各波片的相位得到所需的偏振态.仿真结果说明,利用模拟退火算法进行负反馈控制,其收敛速度...
关键词：光纤通信技术 偏振控制器 模拟退火算法 无端复位 波片相移 
体声波复合谐振器新结构的研究
《电子学报》1994年第11期9-12,共4页邹英寅 王跃林 
国家自然科学青年基金;传感技术联合开放实验室资助
本文报道了一种由氧化锌薄膜和多晶硅膜片构成的体声波复合谐振器的新结构，与传统制作在硅支撑膜片上的压电复合谐振器不同，多晶硅支撑膜采用表面微机械技术获得，因而是完全平面工艺，不需要双面光刻和背面腐蚀。采用Ｓ枪磁控反应溅...
关键词：体声波器件 压电薄膜 硅表面微机械 谐振器 
具有表面微机械结构的体声波复合谐振器研究被引量：1
《压电与声光》1994年第5期12-15,35,共5页陈晓明 金仲和 邹英寅 王跃林 
本文报道了一种具有表面微机械结构的新型体声波复合谐振器。讨论了ＺｎＯ薄膜换能器的取向与体波模式机电耦合系数之间的关系；复合谐振器特性与器件参数的关系。给出了谐振器的制作工艺及测试结果。器件的尺寸为２５０μｍ×２５０μ...
关键词：体声波器件 压电薄膜 表面微机械 谐振器 
基于表面微机械和压电薄膜技术的新型微谐振器
《真空科学与技术》1994年第4期307-308,共2页邹英寅 王跃林 
国家自然科学青年基金;国家传感技术联合开放实验室资助
一种基于表面微机械和压电薄膜技术的体声波器件新结构，是在多晶硅膜片上演积氧化锌（ZnO）压电薄膜。ZnO膜是在c轴采用S枪磁控反应溅射定向生长，而多晶硅膜片采用表面微机械技术制备。采用平面工艺，对氧化牺牲层化学蚀刻和照像腐蚀...
关键词：谐振器 体声波器件 表面微机械 压电薄膜 
砷化镓声电荷输运的二维互作用模型
《Journal of Semiconductors》1994年第7期460-464,共5页邹英寅 
国家教委博士点专项基金
本文对砷化镓Ｓｃｈｏｔｔｋｙ－Ｎ结构的埋沟声电荷输运器件中的信号电荷包与声表面波非线性互作用建立了二维模型．研究了电荷包的声表面波输运特性，给出了包内信号电行密度分布，电荷包形状及电荷量随器件电荷加载、沟道常数等特性...
关键词：砷化镓 电荷输运 二维 模型 
氧化锌压电薄膜传感器设计理论研究被引量：5
《压电与声光》1994年第2期37-41,共5页陈晓明 金仲和 邹英寅 
利用压电薄膜和表面微机械技术可实现新型的氧化锌簿膜器件。本文分析了氧化锌薄膜表面微机械器件中氧化锌的压电效应，微机械结构的应力分布，以及压电感应电荷与器件尺寸的关系。这些结果可为器件的设计提供理论依据。
关键词：压电薄膜 微机械 传感器 氧化锌 
表面微机械结构的氧化锌压电薄膜器件的工艺研究
《微细加工技术》1994年第2期36-41,共6页金仲和 陈晓明 邹英寅 
本文对表面微机械结构的氧化锌压电薄膜器件的关键工艺进行了研究。研究了表面微机械工艺，探索了合适的工艺规范。对如何在表面微机械结构上采用Ｓ枪磁控反应溅射生长出ｃ轴定向的ＺｎＯ薄膜工艺进行了研究。
关键词：压电薄膜 氧化锌 工艺 表面微机械结构 
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