基于显微视觉的MEMS微装配系统研究  

Research of MEMS Assembly System Based on Microvision

作　　者：陈立国[1] 孙立宁[2] 边信黔[1] 荣伟彬[2] 

机构地区：[1]哈尔滨工程大学,黑龙江哈尔滨150001 [2]哈尔滨工业大学,黑龙江哈尔滨150001

出　　处：《机械与电子》2005年第5期31-33,共3页Machinery & Electronics

基　　金：国家 八六三"MEMS重大专项(2002AA404450);国防基础科研项目(k1401060130)

摘　　要：提出一种基于显微视觉伺服控制的MEMS器件微装配系统设计方案,描述了系统样机及关键技术模块的研制方案.以微型光谱分析仪极板粘接为示范应用开展了实验研究,表明该系统适用于典型MEMS芯片的微对准和封装研究.A new microvision based microassembly system was designed.The system and key modules were described in detail.The system was used to complete the microalignment and felt of micro spectral analysis chips.Experiments show that the system is useful in microassembly of typical MEMS chips.

关 键 词：微装配 微机电系统 显微视觉 

分 类 号：TP242.2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]