精密定位载物工作台的研制  

Research on the Precision Positioning Stage

作　　者：华晓青[1] 欧阳航空[1] 李鸣鸣[1] 葛轶君[1] 孙麟治[1] 

机构地区：[1]上海大学机电工程与自动化学院,上海200072

出　　处：《机电一体化》2005年第3期39-43,共5页Mechatronics

基　　金：国家"863"计划(编号:2002AA404450)上海市重点学科基金资助。

摘　　要：介绍了大行程纳米定位载物工作台中宏动系统的组成,研究了如何在传统的滚珠丝杠传动及直线滚珠导轨导向方式下,通过光栅测量装置检测并反馈控制系统,以及相应补偿等,使宏动载物工作台完成微定位要求的定位精度和分辨率的宏定位。The paper introduces the composition of the macro moving system of long distance nano-positioning stage. It researches how to test and feed back to the control system and give some correspondence compensation with grating measurement device by means of conventional ball-screw driving and roller linear guidance. In addition, the macro positioning of the positioning precision and resolution is researched which need to be satisfied for the macro moving stage to realize the micro positioning.

关 键 词：工作台 精密定位 研制 反馈控制系统 光栅测量装置 纳米定位 丝杠传动 定位精度 大行程 分辨率 微定位 滚珠 

分 类 号：TH703[机械工程—仪器科学与技术]