超晶格结构X射线衍射分析及其结构参数的计算  

SUPERLATTICE STRUCTURE'S X-RAY DIFFRACTION ANALYZING AND STRUCTURE PARAMETERS'S CALCULATING

作　　者：郑联喜[1] 王玉田[1] 庄岩[1] 邓礼生[1] 肖智博[1] 胡雄伟[1] 梁骏吾[1] 

机构地区：[1]国家光电子工艺中心,中国科学院半导体研究所

出　　处：《发光学报》1995年第2期153-159,共7页Chinese Journal of Luminescence

摘　　要：在本文中，我们在经典的Ｘ光运动学理论的基础上，加入一些改进，不再直接计算超晶格的结构因子Ｆ００Ｌ，而是计算各原子面的散射波函数，获得了卫星峰的模拟峰形和ｐｅｎｄｅｌｌｓｕｎｇ条纹，克服了原来不能解释峰形和ｐｅｎｄｅｌｌｓｕｎｇ现象的缺点．本文还用此方法对ＧａＡｌＡｓ／ＧａＡｓ超晶格和ＧｅＳｉ／Ｓｉ应变超晶格进行了模拟计算，与实验吻合很好，证明了理论的正确性．n this paper,the wave functions of atomic scattering instead of structure factor of the superlattice have been calculated according to the improved kinematical theory of X-ray diffraction.The peaks shape and pendellosung fringes of the superlattice are explained using computer simulation. Structure parameters of superlattice are also obtained succesfully.

关 键 词：X光运动学理论 超晶格 结构参数 X射线衍射 

分 类 号：O484.1[理学—固体物理] O434.19[理学—物理]