激光直接光刻制作微透镜列阵的方法研究  

Microlens Array Fabrication by Using Laser Direct Lithography System

作　　者：杜春雷[1] 林大键[1] 冯伯儒[1] 孙国良[1] 徐平[2] 郭履容[2] 

机构地区：[1]中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 [2]四川大学信息光学研究所

出　　处：《光学学报》1996年第8期1194-1196,共3页Acta Optica Sinica

摘　　要：介绍了利用激光直接光刻技术制作８相位台阶菲涅尔衍射微透镜列阵的工艺方法，并对元件的衍射效率及光刻过程中的制作误差进行了分析，透镜列阵在小形Ｓｈａｃｋ－Ｈａｒｔｍａｎｎ波前传感器中得到了应用。In the paper, the method for fabrication of diffractive microlens array using laser direct lithography system and reactive etching machine is described. The diffractive efficiency and the fabricating errors are analyzed. The microlens array has been used in a minature Shack Hartmann wavefront sensor.

关 键 词：激光 直接 光刻 微透镜列阵 衍射光学元件 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]