利用喷墨方式形成硅TFT!精工和JSR利用液体材料形成硅薄膜  

出　　处：《现代显示》2006年第5期63-63,共1页Advanced Display

摘　　要：精工爱普生和JSR日前使用液体材料成功地形成了硅薄膜。使用这种硅薄膜的低温多晶硅TFT的电子迁移率高达108cm^2／V·s，实现了和过去利用CVD法形成的TFT相同的性能。主要面向有机EL面板的驱动TFT等用途，力争5—6年内达到实用化水平。

关 键 词：多晶硅TFT 液体材料 硅薄膜 喷墨方式 有机EL面板 电子迁移率 CVD法 爱普生 

分 类 号：TN873.93[电子电信—信息与通信工程]