高性能微机械陀螺接口电路研究  

High Performance Interface Circuit for MEMS Gyroscope

作　　者：王慧泉[1] 郁发新[1] 金仲和[1] 郑旭东[1] 陈永[2] 焦继伟[2] 王跃林[2] 

机构地区：[1]浙江大学信电系半导体光电子研究所,杭州310027 [2]上海微系统与信息技术研究所,上海200050

出　　处：《传感技术学报》2006年第4期1136-1139,共4页Chinese Journal of Sensors and Actuators

基　　金：国家自然科学基金资助(60476033)

摘　　要：微机械陀螺输出信号非常微弱,从系统角度对其接口电路进行研究,采用闭环驱动,通过改善驱动信号稳定性及陀螺输出端接口电路,系统性能得到较大提高,改善后系统灵敏度9.8mV/(o).s-1,非线性度0.43%,分辨率达180°/h。Interface circuit for a MEMS gyroscope is optimized, which includes a close-loop driven circuit and a detected circuit. Output of the gyro is very low that the interface circuit followed it is very important. By carefully designing the interface circuit followed the gyro, the automatic gain control circuit in the close-loop driven circuit and the detected circuit, performance of the system is improved, the gyro＇s resolution reaches 180°/h, with scale factor 9. 8 mV/^（°）· s^-1 , nonlinearity 0. 43%.

关 键 词：微机械陀螺 闭环驱动 自动增益控制 差分电容 

分 类 号：V241.6[航空宇航科学与技术—飞行器设计] TP212.12[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]