郑旭东

作品数：9被引量：30H指数：3
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发文主题：微机械陀螺微机械加速度计加速度测量调谐调谐电压更多>>
发文领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信文化科学更多>>
发文期刊：《导航与控制》《传感技术学报》《中国机械工程》《化工学报》更多>>
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硅MEMS陀螺模态匹配技术研究综述
《导航与控制》2024年第2期19-29,81,共12页夏陈浩 郑旭东 王雪同 沈耀杰 佟文元 刘国文 
国家自然科学基金(编号:51976177);中国浙江省基础公益研究计划(编号:LGG20F040001)。
硅MEMS陀螺具有体积小、成本低等优点,被广泛应用于各个领域。然而受加工工艺及环境因素的限制,实际生产的陀螺存在模态失配问题,影响了陀螺的整体性能。针对制造缺陷引起的硅MEMS陀螺性能缺陷,模态匹配技术是解决模态失配、提高陀螺机...
关键词：硅MEMS陀螺 模态匹配 发展现状 
采用恒频参量激励的微机械陀螺驱动控制方案被引量：3
《浙江大学学报（工学版）》2019年第9期1795-1804,共10页林一羽 郑旭东 吴海斌 马志鹏 金仲和 
国家杰出青年科学基金资助项目(61525403);浙江省自然科学基金/青年基金资助项目(LQ19F040011).
提出一种基于恒定谐振频率和参量激励的微机械(MEMS)陀螺驱动控制方案.该方案利用三角形栅极电容实现,使得陀螺驱动谐振频率和品质因子在环境波动下保持恒定,改善陀螺的温度敏感性.介绍基于三角形栅极电容的频率调谐和参量激励理论,提...
关键词：微机械(MEMS)陀螺 驱动控制方案 参量激励 恒谐振频率驱动 三角形栅极电容 
应用于低温流体两相流测量的修正电容层析成像线性反演算法被引量：4
《化工学报》2019年第9期3320-3328,共9页谢黄骏 陈虹 高旭 郑旭东 张小斌 
国家自然科学基金项目(51576169,51636007);国家重点研发计划项目(2017YFB0603702)
针对低温流体液、气两相的介电特性,通过向传统的电容-介电分布函数关系的线性近似方程中引入修正偏量,得到了修正的电容层析成像线性反演算法。以8电极电容层析成像传感器作为几何模型,对液氧-氧气管内两相流进行了模拟,对比了4种不同...
关键词：两相流 测量 低温流体 成像 线性反演算法 
电容式加速度计的数字化处理电路及其与模拟电路的比较被引量：5
《传感技术学报》2009年第11期1562-1567,共6页林伟俊 胡世昌 郑旭东 王昊 金仲和 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助(2006CB300405)
介绍了对一种电容式MEMS加速度计处理电路的数字化工作,并对数字式加速度计系统的各个组成模块进行了分析,并与模拟处理电路的相应模块进行比较,给出了制约数字和模拟加速度计性能的因素。实验测试结果表明,数字式加速度计的零偏稳定性...
关键词：微电子机械系统 加速度计 直接数字频率合成 现场可编程门阵列 相位噪声 
一种静电驱动电容检测的微机械陀螺及其工艺改进
《中国机械工程》2009年第18期2160-2163,2177,共5页郑旭东 胡世昌 张霞 金仲和 王跃林 
国家重点基础研究计划资助项目(2006CB300405);教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-06-0514)
介绍了一种新型的体硅微机械工艺制造的框架式陀螺及其工艺改进。框架式设计使得陀螺的驱动模态和检测模态解耦;静电力驱动外框使得陀螺进入初始谐振模态;通过内部质量块和固定电极组成的差分敏感电容对的电容极板交叠面积的变化来检测...
关键词：微机械陀螺 体硅微机械加工 电容敏感 深反应离子刻蚀 根部效应 
微机械陀螺的建模与仿真被引量：3
《浙江大学学报（工学版）》2009年第4期646-650,共5页张霞 郑旭东 王昊 金仲和 
国家"973"重点基础研究发展规划资助项目(2006CB300405)
为了降低微机械陀螺系统的噪声和提高系统分辨率,依据电磁驱动电容检测式微机械陀螺的运动方程和接口电路的传递函数在Simulink仿真平台上建立了系统级仿真模型.模型中加入了传感器的机械热噪声、电路的电热噪声以及传感器内部的耦合效...
关键词：微机械陀螺 噪声 系统级仿真模型 
一种新的MEMS系统噪声建模方法被引量：3
《传感技术学报》2008年第3期498-500,共3页张霞 郑旭东 郑阳明 罗斯建 王跃林 金仲和 
国家重点基础研究发展计划资助(973计划)(2006CB300405)
提出了一种基于Matlab中Simulink工具箱的行为级仿真建模方法。通过提取微机械陀螺的机械结构参数以及外围电路的主要参数,利用传感器的运动方程和系统的传递函数在Simulink平台上建立起MEMS陀螺系统的行为级仿真平台.并在该平台中加入...
关键词：MEMS陀螺 噪声 建模 AD630 
一种电容式微机械加速度计的设计被引量：10
《传感技术学报》2008年第2期226-229,共4页郑旭东 曹学成 郑阳明 罗斯建 王跃林 金仲和 
国家重点基础研究发展计划资助(973计划)(2006CB300405)
介绍了一种新型基于滑膜阻尼的电容式微机械加速度计。该加速度计根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度大小,保证了输出电压与加速度之间的线性度。对加速度计进行了结构设计和分析。给出了加速度计的制作工艺流程,研究了解决...
关键词：电容式加速度计 微机电系统 深反应离子刻蚀 滑膜阻尼 
高性能微机械陀螺接口电路研究被引量：2
《传感技术学报》2006年第4期1136-1139,共4页王慧泉 郁发新 金仲和 郑旭东 陈永 焦继伟 王跃林 
国家自然科学基金资助(60476033)
微机械陀螺输出信号非常微弱,从系统角度对其接口电路进行研究,采用闭环驱动,通过改善驱动信号稳定性及陀螺输出端接口电路,系统性能得到较大提高,改善后系统灵敏度9.8mV/(o).s-1,非线性度0.43%,分辨率达180°/h。
关键词：微机械陀螺 闭环驱动 自动增益控制 差分电容 
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