张霞

作品数：7被引量：20H指数：3
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供职机构：西安邮电学院电子工程学院更多>>
发文主题：噪声量子噪声微机械陀螺共模噪声噪声性能分析更多>>
发文领域：机械工程电子电信更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《光学精密工程》《中国机械工程》《浙江大学学报（工学版）》更多>>
所获基金：国家重点基础研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
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悬臂梁式硅纳米谐振器的量子压缩效应
《光学精密工程》2012年第4期760-765,共6页张霞 闫社平 
西安邮电学院中青年教师科研基金资助项目(No.0001282)
分析了厚度分别为12nm和38.5nm的悬臂梁式硅纳米谐振器内由海森堡不确定原理所决定的零点位置不确定度,分析结果表明,零点位置不确定度与悬臂梁的厚度和宽度成反比、与悬臂梁的长度成正比,12nm厚的悬臂梁其零点位置不确定度为4.1×10-3...
关键词：纳米谐振器 悬臂梁 量子噪声 量子压缩 零点位置不确定度 
微机械加速度计内部噪声影响的对比分析被引量：5
《西安邮电学院学报》2012年第2期57-61,共5页张霞 闫社平 
西安邮电学院中青年教师科研基金资助项目(0001282)
以一种新型的梳状栅电容结构微机械加速度计为研究对象,对比分析机械热噪声和量子噪声对其检测精度的影响。研究结果表明,当微机械加速度传感器的结构尺寸接近纳米尺度时,在一定的温度条件下,量子噪声取代了机械热噪声成为影响加速度传...
关键词：微机械加速度计 机械热噪声 量子噪声 检测精度 
差分电容电压转换电路噪声性能分析及测试被引量：7
《传感技术学报》2011年第9期1301-1304,共4页张霞 胡世昌 朱辉杰 
本文对电容检测式加速度计系统中广泛采用的差分电容电压转换电路建立了电容电压转换电路的等效噪声模型,并对双运放集成电路芯片所构成的差分电容电压转换电路的本底噪声以及仪表放大器输出端的噪声进行了测试,将电容电压转换电路本底...
关键词：差分电容电压转换电路 共模噪声 差模噪声 
改善数字式加速度计处理电路温度稳定性的一种方法被引量：2
《传感技术学报》2010年第12期1722-1727,共6页张斌 王昊 张霞 胡世昌 金仲和 
国家重点基础研究发展规划项目资助(973项目)(2006CB300405)
介绍了一种电容式微机械加速度计的数字化处理电路,并重点介绍了数模转换器和模数转换器的温度特性。提出通过将调幅信号与载波信号进行相除运算,来显著的改善由于模数转换器和数模转换器引起的加速度计系统稳定性恶化现象。根据载波信...
关键词：微电子机械系统 加速度计 现场可编程门阵列 数模转换器 模数转换器 
一种静电驱动电容检测的微机械陀螺及其工艺改进
《中国机械工程》2009年第18期2160-2163,2177,共5页郑旭东 胡世昌 张霞 金仲和 王跃林 
国家重点基础研究计划资助项目(2006CB300405);教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-06-0514)
介绍了一种新型的体硅微机械工艺制造的框架式陀螺及其工艺改进。框架式设计使得陀螺的驱动模态和检测模态解耦;静电力驱动外框使得陀螺进入初始谐振模态;通过内部质量块和固定电极组成的差分敏感电容对的电容极板交叠面积的变化来检测...
关键词：微机械陀螺 体硅微机械加工 电容敏感 深反应离子刻蚀 根部效应 
微机械陀螺的建模与仿真被引量：3
《浙江大学学报（工学版）》2009年第4期646-650,共5页张霞 郑旭东 王昊 金仲和 
国家"973"重点基础研究发展规划资助项目(2006CB300405)
为了降低微机械陀螺系统的噪声和提高系统分辨率,依据电磁驱动电容检测式微机械陀螺的运动方程和接口电路的传递函数在Simulink仿真平台上建立了系统级仿真模型.模型中加入了传感器的机械热噪声、电路的电热噪声以及传感器内部的耦合效...
关键词：微机械陀螺 噪声 系统级仿真模型 
一种新的MEMS系统噪声建模方法被引量：3
《传感技术学报》2008年第3期498-500,共3页张霞 郑旭东 郑阳明 罗斯建 王跃林 金仲和 
国家重点基础研究发展计划资助(973计划)(2006CB300405)
提出了一种基于Matlab中Simulink工具箱的行为级仿真建模方法。通过提取微机械陀螺的机械结构参数以及外围电路的主要参数,利用传感器的运动方程和系统的传递函数在Simulink平台上建立起MEMS陀螺系统的行为级仿真平台.并在该平台中加入...
关键词：MEMS陀螺 噪声 建模 AD630 
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