高性能螺线管微电感的制作  

Fabrication of a High-Performance Solenoid Microinductor

作　　者：方东明[1] 周勇[1] 赵小林[1] 

机构地区：[1]上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200030

出　　处：《Journal of Semiconductors》2006年第8期1422-1425,共4页半导体学报（英文版）

基　　金：教育部科学技术研究计划(批准号:0307);上海应用材料研究发展基金(批准号:0515)资助项目~~

摘　　要：利用MEMS技术制作了高性能的空芯螺线管型射频微机械电感.这种微电感采用铜线圈以减小线圈寄生电阻,整个微电感的面积是880μm×350μm,与平面螺旋型微电感相比,有效地节省了芯片面积.测试结果表明,微电感在较宽的工作频率范围内具有高Q值,微电感最大Q值为38(@6GHz),对应的电感量为1·82nH.A high-performance RF solenoid microinductor is fabricated using microelectromechanical systems technology. This inductor employs an electroplated copper coil to reduce the series resistance, and its total area is 880μm × 350μm, which saves chip area significantly compared with planar microinductors. The measurement results show that this inductor has a high Q-factor over a wide range of operating frequencies. The maximum Q-factor of this inductor is 38 and the inductance is 1.82nH at 6GHz.

关 键 词：螺线管电感 射频微机电系统 品质因素 三维 

分 类 号：TM55[电气工程—电器]