方东明

作品数：7被引量：16H指数：2
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供职机构：上海交通大学更多>>
发文主题：射频微机电系统品质因素射频HFSS半导体技术更多>>
发文领域：电气工程电子电信理学交通运输工程更多>>
发文期刊：《合肥工业大学学报（自然科学版）》《传感技术学报》《磁性材料及器件》《微细加工技术》更多>>
所获基金：“上海－应用材料研究与发展”基金教育部科学技术研究重大项目国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
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微型电磁式振动能量采集器的设计和电磁特性仿真研究被引量：6
《合肥工业大学学报（自然科学版）》2008年第4期518-521,526,共5页王佩红 戴旭涵 方东明 赵小林 
国家自然科学基金资助项目(50405013);863计划资助项目(2006aa04z360);微米/纳米加工技术国家级重点实验室(上海交通大学)基金资助项目(9140C790301060C79);上海市科委重点实验室基金资助项目(05dz22309)
为了设计出结构合理、性能优良的微型电磁式振动能量采集器,利用Ansoft Maxwell软件对模型的结构参数和输出电动势之间的关系进行有限元仿真,分析发现:随着圆形永磁体厚度、悬臂梁振幅的增加及悬臂梁和永磁体间距的减小,输出电动势逐渐...
关键词：半导体技术 电磁式振动能量采集器 结构优化 计算机仿真 输出特性 
静电驱动可调微机械电容被引量：1
《Journal of Semiconductors》2007年第9期1454-1458,共5页方东明 付世 周勇 赵小林 
国家高技术研究发展计划(批准号:2006AA03Z301);上海应用材料研究与发展基金(批准号:0515);非硅精密微机械制造技术研究基金(批准号:D2320060098);上海市纳米专项基金(批准号:0652nm004)资助项目~~
利用简单MEMS技术制作了高品质因数的射频可调微机械电容.此电容由静电驱动,利用WYKONT1100光学表面轮廓仪测量在不同外加直流电压下可变电容的表面轮廓和位移等信息.测试结果表明,电容的吸合电压为13.5V,电容可调比为1.31:1,在1GHz下...
关键词：可调电容 射频微机电系统 品质因数 
MEMS技术制作的螺线管微电感被引量：2
《微细加工技术》2006年第5期36-40,共5页方东明 周勇 赵小林 王西宁 
教育部科学技术研究重大项目资助(0307);上海-应用材料研究与发展基金资助项目(0515)
考虑和分析了螺线管微电感的几何结构参数对微电感性能的影响,利用MEMS技术制作了四种不同几何结构的高性能射频螺线管微电感。这些微电感采用铜线圈,以减小线圈寄生电阻,且制作工艺简单,成本低,与IC相兼容。测试结果表明,微电感在较宽...
关键词：螺线管电感 微机电系统 品质因素 射频 
高性能螺线管微电感的制作被引量：2
《Journal of Semiconductors》2006年第8期1422-1425,共4页方东明 周勇 赵小林 
教育部科学技术研究计划(批准号:0307);上海应用材料研究发展基金(批准号:0515)资助项目~~
利用MEMS技术制作了高性能的空芯螺线管型射频微机械电感.这种微电感采用铜线圈以减小线圈寄生电阻,整个微电感的面积是880μm×350μm,与平面螺旋型微电感相比,有效地节省了芯片面积.测试结果表明,微电感在较宽的工作频率范围内具有高Q...
关键词：螺线管电感 射频微机电系统 品质因素 三维 
射频螺线管微电感的设计和仿真被引量：4
《传感技术学报》2006年第05B期1878-1880,共3页方东明 赵小林 王西宁 周勇 
教育部科学技术研究重大项目资助(0307);上海-应用材料研究与发展基金资助(0515)
为了获得高性能MEMS螺线管微电感,考虑了几何结构参数对微电感性能的影响,用HFSS软件对特定结构的微电感进行仿真,仿真结果与实验研制的测量结果基本相符.测试结果表明微电感在较宽的工作频率范围内具有高Q值,可以应用在无线通讯领域.
关键词：螺线管电感 HFSS 品质因素 射频微机电系统 
过渡族金属掺杂ZnO薄膜的晶体结构和磁性能被引量：1
《磁性材料及器件》2006年第1期19-22,35,共5页方东明 周勇 赵小林 
教育部科学技术研究重大项目(0307)
采用电子束蒸发法制备了过渡族金属(Fe、Co、Cu)掺杂ZnO薄膜。分析和研究了衬底温度以及Cu掺杂量对薄膜相结构的影响,获得沿c轴高度择尤取向的高质量ZnO薄膜。采用原子力显微镜(AFM)观察薄膜的显微结构,利用所得的图象信息对薄膜进行分...
关键词：ZNO薄膜 掺杂 电子束蒸发 结构 磁性能 
Ni-P+Ni双镀层的制备与可靠性考核
《新技术新工艺》2005年第8期65-66,共2页鲍恒伟 黄刚 方东明 
在钢基化学镀Ni-P镀层上再电镀上1层镍,成功制得Ni-P+Ni双镀层,并对Ni-P镀 层和Ni-P+Ni双镀层进行可靠性试验,结果表明Ni-P+Ni双镀层表面光亮,其致密性和可靠 性都比Ni-P镀层好,对提高金属抗蚀性和防护性有着重要的意义。
关键词：NI-P 化学镀 镀镍 可靠性 
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