射频螺线管微电感的设计和仿真  

The Design and Simulation of the RF Solenoid Microinductor

作　　者：方东明[1] 赵小林[1] 王西宁[1] 周勇[1] 

机构地区：[1]上海交通大学微纳科学技术研究院

出　　处：《传感技术学报》2006年第05B期1878-1880,共3页Chinese Journal of Sensors and Actuators

基　　金：教育部科学技术研究重大项目资助(0307);上海-应用材料研究与发展基金资助(0515)

摘　　要：为了获得高性能MEMS螺线管微电感,考虑了几何结构参数对微电感性能的影响,用HFSS软件对特定结构的微电感进行仿真,仿真结果与实验研制的测量结果基本相符.测试结果表明微电感在较宽的工作频率范围内具有高Q值,可以应用在无线通讯领域.In order to get high-performance MEMS solenoid microinductors, we considered the geometrical parameters＇ effects on the performance of the inductor, and simulated an inductor using High Frequency Structure Simulator （HFSS）. The result of the simulation is similar to that of the fabricated inductor. The measurement result shows that the inductor have high Q-factor over wide range of operating frequency, which can be used in the field of wireless communication.

关 键 词：螺线管电感 HFSS 品质因素 射频微机电系统 

分 类 号：TM55[电气工程—电器]