静电驱动可调微机械电容  

A Tunable Micromechanical Capacitor Driven by Electrostatic Force

作　　者：方东明[1] 付世[1] 周勇[1] 赵小林[1] 

机构地区：[1]微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院,上海200030

出　　处：《Journal of Semiconductors》2007年第9期1454-1458,共5页半导体学报（英文版）

基　　金：国家高技术研究发展计划(批准号:2006AA03Z301);上海应用材料研究与发展基金(批准号:0515);非硅精密微机械制造技术研究基金(批准号:D2320060098);上海市纳米专项基金(批准号:0652nm004)资助项目~~

摘　　要：利用简单MEMS技术制作了高品质因数的射频可调微机械电容.此电容由静电驱动,利用WYKONT1100光学表面轮廓仪测量在不同外加直流电压下可变电容的表面轮廓和位移等信息.测试结果表明,电容的吸合电压为13.5V,电容可调比为1.31:1,在1GHz下品质因数为51.6,电容值为0.79pF.A radio frequency （RF） tunable micromechanical capacitor with a high quality factor driven by the electrostatic force was fabricated using simple MEMS technology. The surface profile and the displacement of the variable capacitor at different values of applied voltage are measured by using a WYKO NTll00 optical surface profiler. The measured results show that the pull-in voltage is 13.5V,the tuning ratio of the capacitor is 13. 1 ： 1 ,and the quality factor and the capacitance are 51.6 and 0.79pF at 1GHz,respectively.

关 键 词：可调电容 射频微机电系统 品质因数 

分 类 号：TM532[电气工程—电器]