LC—13型强流氧离子注入机  

作　　者：刘湘德[1] 

机构地区：[1]电子工业部第48研究所

出　　处：《LSI制造与测试》1996年第6期12-13,共2页

摘　　要：强流氧离子注入机是用于研制开发ＳＩＭＯＸ材料所需的关键设备。该项目的研制具有一定的难度，在国内尚属首例。本文描述了ＬＣ－１３型强流氧离子注入机主要性能指标及技术难点。

关 键 词：离子注入 氧离子 注入机 

分 类 号：TN305.3[电子电信—物理电子学]