刘湘德

作品数：2被引量：1H指数：1
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LC—13型强流氧离子注入机
《LSI制造与测试》1996年第6期12-13,共2页刘湘德 
强流氧离子注入机是用于研制开发ＳＩＭＯＸ材料所需的关键设备。该项目的研制具有一定的难度，在国内尚属首例。本文描述了ＬＣ－１３型强流氧离子注入机主要性能指标及技术难点。
关键词：离子注入 氧离子 注入机 
超强流氧离子注入机国内外现状及发展趋势被引量：1
《电子工业专用设备》1994年第2期15-18,共4页颜亨迪 刘湘德 
本文概括介绍了超强流氧离子注入机的国内外现状及发展趋势，指出了国内在这一设备研制上的主要差距，对今后发展该设备提出自己的建议。
关键词：超强流 氧离子注入机 离子注入 硅 
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