一种氧化锌薄膜的制备方法  

出　　处：《无机盐工业》2006年第12期28-28,共1页Inorganic Chemicals Industry

摘　　要：本发明涉及一种氧化锌薄膜的制备方法，属于半导体光电与器件领域。首先将锌盐、乙二胺溶于去离子水中，并用氢氧化钠溶液调节pH至10．50～12．00，制备成薄膜生长反应液，然后将处理过的基片平置于陶瓷加热板上，浸入到制备好的薄膜生长反应液中，控制加热温度100～150℃。反应20-加min后即可获得致密的氧化锌薄膜。本方法操作简单，成本低，生产周期短。

关 键 词：氧化锌薄膜 制备方法 氢氧化钠溶液 薄膜生长 半导体光电 反应液 去离子水 加热温度 

分 类 号：TQ651.2[化学工程—精细化工]