混合微电子技术用关键材料的新进展  被引量:1

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作  者:程阜民[1] 

机构地区:[1]合肥电子部43所

出  处:《电子工艺简讯》1996年第12期10-15,共6页

摘  要:概述了混合微电子技术用关键材料的种类和现状,讨论了混合微电子产品对不同材料的基本要求,分析了各种材料的特点,列出了相关材料的详细数据,指出了这些材料的发展趋势。

关 键 词:混合集成电路 多芯片组件 基板 材料 

分 类 号:TN45[电子电信—微电子学与固体电子学]

 

参考文献:

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引证文献:

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