基于MEMS加工技术压力传感器工艺研究  

Study On Pressure Sensor Based On MEMS Processing Technology

作　　者：张栋[1] 李永红[1] 

机构地区：[1]中北大学信息与通讯工程学院

出　　处：《传感器世界》2007年第4期30-32,共3页Sensor World

摘　　要：介绍了一种微压力传感器加工技术和加工工艺研究,根据所设计微压力传感器的结构特点和国内现有加工设备,采用了体硅加工技术和表面加工技术相结合的方法,并给进行详细加工步骤研究。The study of low stress micro-sensor fabricating technique is given in this paper. The method combining both the bulk silicon micro-machining technique and the surface sacrificial layer technology is presented with detailed, fabrication steps according to the structure features of micro-sensor designed and the available domestic fabrication equipments.

关 键 词：MEMS 压力传感器 加工工艺 光刻 腐蚀 扩散 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]