张栋

作品数：2被引量：3H指数：1
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机载压阻式压力传感器设计与加工被引量：3
《仪表技术》2007年第6期62-64,共3页张栋 李永红 
介绍一种压阻式压力传感器的设计原理和加工技术,设计出了敏感电路和硅膜结构,根据所设计压力传感器的结构特点和国内现有加工设备,采用了体硅加工技术和表面加工技术相结合的方法进行加工研究并给出了加工模型。
关键词：MEMS 压力传感器 加工工艺 光刻 腐蚀 扩散 
基于MEMS加工技术压力传感器工艺研究
《传感器世界》2007年第4期30-32,共3页张栋 李永红 
介绍了一种微压力传感器加工技术和加工工艺研究,根据所设计微压力传感器的结构特点和国内现有加工设备,采用了体硅加工技术和表面加工技术相结合的方法,并给进行详细加工步骤研究。
关键词：MEMS 压力传感器 加工工艺 光刻 腐蚀 扩散 
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