片子自动传输机械手  

作　　者：胡耀臻[1] 

机构地区：[1]电子工业部第四十五研究所

出　　处：《电子工业专用设备》1997年第1期39-42,共4页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：本文扼要介绍了几种半导体最新精密机械手的性能和用途

关 键 词：机械手 硅片 无振动传输 光刻技术 

分 类 号：TN304.12[电子电信—物理电子学] TP241.2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]