Cr掺杂AlN薄膜的结晶结构和磁性能  

出　　处：《金属功能材料》2007年第5期47-48,共2页Metallic Functional Materials

关 键 词：CR掺杂 磁性能 AIN薄膜 结晶结构 ALN薄膜 磁控溅射法 日本大阪大学 

分 类 号：TB383.2[一般工业技术—材料科学与工程]