辅助外加热方式直流等离子体化学气相沉积TiN的研究  

作　　者：谢雁[1] 赵程[1] 李世直[1] 

机构地区：[1]青岛化工学院等离子体表面技术研究所

出　　处：《表面技术》1997年第3期18-20,共3页Surface Technology

摘　　要：1 引 言 单纯靠离子轰击加热的直流等离子体化学沉积 TiN在刀具、刃具及各种耐磨工件上的应用已取得良 好的结果,就其工艺而言,由于影响离子轰击的因素 很多造成工艺参数控制复杂,重复性差,温度不均匀等缺点。90年代起本所开始采用了辅助外加热方式沉积技术,改变了单纯依靠离子轰击加热而带来了弊端。将反应时等离子体放电强度与放电工件温度分离,从而提高了工艺的稳定性。

关 键 词：氮化钛 直流等离子体 化学气相沉积 喷镀 

分 类 号：TG174.442[金属学及工艺—金属表面处理]