热处理对NdFeB薄膜微结构和磁性能的影响  

Effect of Post Annealing on the Microstructure and Magnetic Properties of NdFeB/α-Fe/NdFeB Thin Films

作　　者：张丽娜[1] 张敏刚[1] 杨扬[1] 刘小鹏[1] 衣美卿[1] 

机构地区：[1]太原科技大学材料科学与工程学院,山西太原030024

出　　处：《机械工程与自动化》2008年第1期122-124,共3页Mechanical Engineering & Automation

基　　金：山西省自然科学基金资助项目(20021067)

摘　　要：采用磁控和离子束联合溅射法制备了NdFeB/α-Fe/NdFeB系列纳米复合多层膜,研究了热处理温度对薄膜结构、表面形貌和磁性能的影响。A series of nanocomposite thin films,composed of Nd2Fe14B and α-Fe,has been prepared by DC-magnetron sputtering combined with ion beam sputtering onto Si （100） substrates. The effects of post annealing on the microstructure and magnetic properties have been investigated.

关 键 词：磁控溅射 离子束溅射 多层膜 热处理 磁性能 

分 类 号：TG15[金属学及工艺—热处理]