刘小鹏

作品数:1被引量:2H指数:1
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供职机构:太原科技大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题:光致发光磁性能磁控溅射多层膜离子束溅射更多>>
发文领域:一般工业技术金属学及工艺电子电信更多>>
发文期刊:《机械工程与自动化》更多>>
所获基金:山西省自然科学基金更多>>
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热处理对NdFeB薄膜微结构和磁性能的影响被引量:2
《机械工程与自动化》2008年第1期122-124,共3页张丽娜 张敏刚 杨扬 刘小鹏 衣美卿 
山西省自然科学基金资助项目(20021067)
采用磁控和离子束联合溅射法制备了NdFeB/α-Fe/NdFeB系列纳米复合多层膜,研究了热处理温度对薄膜结构、表面形貌和磁性能的影响。
关键词:磁控溅射 离子束溅射 多层膜 热处理 磁性能 
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