多晶硅薄膜的激光晶化技术  

作　　者：邵喜斌[1] 

机构地区：[1]京东方科技集团股份有限公司,北京100016

出　　处：《光机电信息》2008年第4期7-10,共4页OME Information

摘　　要：1引言 多晶硅薄膜晶体管（P-SiTFT）在有源LCD和有源OLED中都有重要应用。在有源LCD中，a-SiTFT LCD目前占据绝大部分市场，尤其在大尺寸液晶电视和液晶显示器等方面，p-SiTFT LCD只是在中小尺寸中要求高分辨率的应用领域占据了一部分市场。对于有源OLED而言，p-Si TFT的重要性要高于有源LCD，因为OLED是电流型器件，

关 键 词：多晶硅薄膜晶体管 激光晶化 有源OLED A-SITFT p-SiTFT 技术 LCD 液晶显示器 

分 类 号：TN321.5[电子电信—物理电子学] TN304.12