激光晶化

作品数：56被引量：89H指数：5
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激光晶化形成纳米硅基电致发光材料及其性质研究
《激光杂志》2023年第7期255-260,共6页陈贺 李晓静 张洋洋 
河南省科技攻关项目(No.202102210021);河南省高等学校青年骨干教师培养计划(No.2019GGJS273);郑州市基础研究及应用基础研究专项项目(No.ZZSZX202104);河南省科技厅项目(No.212102210187)。
为实现基于硅基材料的高效光源,提出激光晶化形成纳米硅基电致发光材料性能研究,来明确了激光晶化形成纳米硅基电致发光材料的基本性能。主要以选择的纳米硅基电致发光材料作为研究对象,首先采用激光晶化技术完成制备工作,其次设计对电...
关键词：纳米硅基电致发光材料 纳米硅量子 激光晶化 材料制备 量子限制效应 发光效率 
非晶硅薄膜厚度及特性对准分子激光晶化的影响
《表面技术》2018年第4期109-114,共6页李小龙 黄鹏 张慧娟 李栋 田雪雁 李良坚 刘政 
目的增加准分子激光晶化最优能量密度的工艺窗口以及提高晶化后多晶硅晶粒尺寸的均匀性,并最终改善低温多晶硅薄膜晶体管(Low Temperature Poly Silicon Thin Film Transistor,LTPS TFT)的特性。方法采用PECVD技术在玻璃基板上沉积不同...
关键词：非晶硅薄膜 准分子激光晶化 折射率 薄膜晶体管器件特性 
非晶硅薄膜晶化方法
《材料导报》2017年第A02期84-87,共4页陶泉丽 陈诺夫 马大燕 王从杰 白一鸣 
北京市自然科学基金(2151004);中央高校基本科研业务费专项资助基金(2016MS50)
多晶硅薄膜由于具有较高的载流子迁移率和良好的光电性能,广泛应用于集成电路及光电器件中,尤其在太阳电池领域引起了广泛关注。多晶材料晶界处会发生载流子的复合,降低载流子寿命。结晶度与晶粒尺寸是多晶硅薄膜取得良好性能的关键因素...
关键词：多晶硅 热退火 金属诱导晶化 激光晶化 
激光晶化制备硅量子点/碳化硅多层膜p-i-n结构的光伏特性探索
《南京大学学报（自然科学版）》2017年第3期399-406,共8页曹蕴清 曾祥华 季阳 翟颖颖 李伟 
基金项目:江苏省"333"工程(BRA2015284)
对不同能量密度激光晶化的硅量子点/碳化硅周期性多层膜的结构与光学性质进行了研究.结果表明,激光晶化技术可以获得晶化的硅量子点并且保持良好的周期性层状结构;随着激光能量密度的增大,多层膜中的硅量子点的晶化率和晶粒尺寸都随之增...
关键词：硅量子点/碳化硅多层膜 激光晶化技术 全硅量子点太阳能电池 激光能量密度 光伏特性 
激光热处理对化学沉积Ni-W-P耐蚀性能的影响
《铸造技术》2016年第9期1861-1863,共3页李莎 刘宏 
通过分析激光退火前后Ni-W-P合金镀层腐蚀前后的表面形貌、晶化程度、晶粒尺寸及在0.5 mol/L的H_2SO_4溶液中的腐蚀速率,研究合金镀层的耐腐蚀性能。结果表明,镀态镀层的耐蚀性最差,随激光扫描速率的减小,镀层晶化程度增大,Ni和Ni_3P相...
关键词：化学沉积 NI-W-P合金 激光晶化 晶粒尺寸 晶格应变 腐蚀速率 
非晶硅薄膜和结晶硅薄膜的拉曼光谱被引量：2
《实验室研究与探索》2016年第8期33-36,共4页马希文 杨玉庆 张坤 何佳 张霞 
国家自然科学青年基金资助项目(61404082);上海市市级大学生创新训练资助项目(cs1505010)
以玻璃为衬底,利用等离子体增强化学气相沉积工艺制备了非晶硅(α-Si)薄膜,然后通过准分子激光晶化方式获得结晶硅(nc-Si)薄膜,采用激光显微拉曼光谱仪对非晶硅薄膜、结晶硅薄膜这两类薄膜的拉曼光谱效应和结晶质量等进行了定量分析。...
关键词：非晶硅薄膜 结晶硅薄膜 准分子激光晶化 拉曼光谱 拉曼位移 
激光晶化能量对多晶硅薄膜晶体管特性影响的研究
《电子技术与软件工程》2016年第13期125-127,共3页江朝庆 
本文利用准分子激光晶化技术制备了低温多晶硅薄膜晶体管,研究了不同激光晶化能量密度对多晶硅薄膜晶粒尺寸以及器件电学特性的影响。为了进一步阐释激光晶化能量密度对多晶硅薄膜晶体管特性产生影响的原因,通过二维器件仿真拟合了多晶...
关键词：激光晶化 能量密度 多晶硅薄膜晶体管 缺陷态 器件仿真 
非晶硅薄膜连续激光晶化结构研究被引量：1
《微纳电子技术》2015年第8期500-504,525,共6页程龙 郝惠莲 刘健俣 马永品 丁伟 
2014大学生重点科研平台创新训练项目(cz1405012);2014国家级创新训练项目(cs1305009);上海工程技术大学博士启动基金资助项目(201308);上海高校青年教师培养资助计划项目(ZZGJD13023)
为了研究连续激光晶化的非晶硅薄膜的结构特性,采用等离子体增强化学气相沉积技术在玻璃衬底上沉积了非晶硅薄膜,用波长为532 nm的连续激光对非晶硅薄膜进行晶化,并采用喇曼光谱仪、傅里叶红外吸收光谱仪和原子力显微镜对激光晶化前后...
关键词：等离子增强化学气相沉积(PECVD) 非晶硅薄膜 喇曼光谱 激光晶化 晶化率 
非晶硅薄膜的准分子激光晶化研究被引量：3
《红外与激光工程》2015年第3期959-963,共5页秦娟娟 邵景珍 刘凤娟 方晓东 
利用Kr F准分子激光器晶化非晶硅薄膜,研究了不同的激光能量密度和脉冲次数对非晶硅薄膜晶化效果的影响。利用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对晶化前后的样品的物相结构和表面形貌进行了表征和分析。实验结果表明,在激光频率为1...
关键词：准分子激光退火 非晶硅薄膜 多晶硅 能量密度 脉冲次数 
激光退火对化学镀Ni-W-P镀层硬度的影响
《化工管理》2015年第8期154-155,共2页李莎 刘宏 卞建胜 
本文主要研究激光退火对镀层硬度的影响。采用Jade软件对镀层中的晶化程度、晶粒尺寸及微应变进行定量分析,利用维氏显微硬度计测量镀层的硬度。结果表明随激光扫描速度的减小,镀层晶化程度增加、Ni和Ni3P相的晶粒尺寸增大、Ni相含量变...
关键词：化学沉积 NI-W-P合金 激光晶化 晶粒尺寸 晶格应变 硬度 
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